快速热处理退火炉简称 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace),由我公司借鉴了国际先进制造工艺,在伟德彩票注册炉的基础上自主研发而成。这款不但拥有很快的升温速率100℃/S,而且降温速率也有了质的飞跃,降温速率100℃/S。我们的工程师们巧妙的设计工艺使得冷却气体直接对着样品直吹,以至于达到如此快的降温速度。真正的极速升温和极速降温!
此款设备采用了成仪自主研发的智能AIO(All In One)控制系统,实现了炉膛自动左右移动,炉膛在左侧加热到设定温度后,直接移动到右侧样品区域,实现样品快速升温,样品加热到设定温度和时间后,炉膛自动移开样品加热区,实现样品的快速降温。成仪AIO智能控制系统不但实现了真空系统开启、保护气氛通断以及冷却气体通断的自动协调控制,而且还能自动平衡炉管内的压力大小,真正实现了操作方便,而且安全可靠。
功能举例:样品加热到1000℃后,炉膛自动移开加热区,冷却气体自动打开直吹样品表面实现极速降温,样品温度降到70℃时自动关闭冷却气体。然后炉膛移动到加热区继续加热,如此往复,往复次数可用户自定义。真空系统可根据用户设定温度自动开启和关闭。
应用领域
Ø 快速热退火 (RTA); 离子注入后退火
Ø 石墨烯等气象沉积,碳纳米管等外延生长
Ø 快速热氧化 (,RTO); 热氮化 (RTN);
Ø 硅化 (Silicidation);
Ø 扩散 (Diffusion);
Ø 离子注入后退火 (Implant Annealing);
Ø 电极合金化 (Contact Alloying);
Ø 晶向化和坚化 (Crystallization and Densification);
主要特点
Ø 极速升温100℃/S,极速降温100℃/S;
Ø 双层炉管结构,气氛与样品接触更均匀;
Ø 直接测量样品表面温度,测温更精准;
Ø 炉膛根据设置可自动左右移动,可以满足更多的实验应用;
Ø 样品实际温度数据可通过手机APP导出excel表格;
产品名称
RTP多功能快速退火炉
产品型号
RTP1100-M
额定温度
1100℃
温场均匀性
±2℃
炉膛升温速率
≥100℃/S
最快降温速率
≥100℃/S
控温方式
炉膛与样品要分别控温,两个测温点
炉膛移动方式
根据用户样品设定温度自动左右移动,往复次数可调节
操控系统
智能AIO操作系统
操作界面
7英寸触摸屏
加热方式
短波红外线加热
加热腔体结构
双层石英管
外管直径
100mm
内管直径
80mm
气体保护方式
外管进气,内管出气
压力保护
管内自动恒压(0.8~1.2个大气压任意可调)
样品冷却
加热后炉膛自动移开,冷气打开直吹样品,降到设定温度自动关闭冷却气体。
冷却气体调节
浮子流量计(100~1000ml/min)
超温保护
温度出现过高时切断主回路
式样有效空间
90*100mm
真空系统
8L/S双级联真空系统
整机真空度
0.5Pa
真空启动方式
根据程序设置自动启停
抽气端口尺寸
KF16
供气口尺寸
1/4英寸双卡套
法兰冷却方式
水冷(短时间无需水冷)
真空显示
数字真空压力表
上位机操控
基于安卓系统APP
数据导出方式
APP导出Excel表格
额定功率
12kw
外形尺寸
950*500*560mm
重量
50kg
配件
管堵2支,法兰水冷套1支,耐温手套1双,坩埚钳1把,说明书1本。