河南成仪实验室设备有限公司
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该款质量流量计是按照气体的原子质量计算流量大小，其精确度高。核心流量检测仪采用七星华创的高精度检测仪，最高精度达到0.05 SCCM。
技术参数：
产品名称
三路质子气体配比器
产品型号
CHY-3Z
流量计类型
质子流量计
流量计管芯
304不锈钢
调节阀类型
电磁调节阀
管道常态
常闭
流量计外壳
黑色铝壳
气体种类
3种
接口尺寸
1/4"
测量精度
±1.0%F.S
线性度
±0.5%F.S
重复精度
±0.2%F.S
压力范围
-0.1-0.15 MPa
A路气体测量范围
0～100SCCM
B路气体测量范围
0～200SCCM
C路气体测量范围
0～500SCCM
流量控制范围
2%～100%
零点温漂
0.6F.S(15～35℃)
响应时间
2S
工作环境温度
(15～50℃)
精度保证温度
(15～35℃)
供电电源
220V 50Hz
外形尺寸
L700×W600×H580
设备重量
43kg
